스크린 SPE, 스크러버형 단일 웨이퍼 클리닝 시스템 ‘SS-3300S’ 개발... 업계 최고의 생산성 선사

2020-12-10 14:50
교토, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어)--스크린 세미컨덕터 솔루션즈(SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd., 이하 ‘스크린 SPE’)(사장: 고토 마사토(Masato Goto))와 스크린 홀딩스 그룹(SCREEN Holdings Group)(도쿄증권거래소: 7735)이 새로운 스크러버(scrubber)형[1] 단일 웨이퍼 클리닝 시스템 ‘SS-3300S’ 개발을 마무리했다.

SS-3300S는 시간당 최대 1000장의 웨이퍼[2]를 안정적으로 처리할 정도로 성능이 뛰어나다. 그만큼 업계 최고의 생산성을 선사한다. 이달 판매에 돌입할 예정이다.

원격 근무, 온라인 학습, 동영상 스트리밍 등의 활동이 데이터 트래픽을 늘리면서 데이터 센터 시장이 최근 괄목할 만한 성장세를 구가하고 있다. 또 차량 및 산업 애플리케이션용 사물인터넷(IoT) 인프라와 5G 스마트폰의 도입이 확산되면서 정교한 첨단 반도체 수요가 기지개를 펴고 있다.

반도체 제조업체들은 이런 시장 상황에 대응해 첨단 로직·메모리 IC용 회로의 집적·소형화를 향상시켰고, 이는 반도체 제조 과정에서의 미세 입자 제거에 대한 중요성이 그 어느 때보다 높아지는 상황으로 이어졌다. 더 높은 수준의 클리닝을 좀 더 안정적으로 수행할 수 있는 고성능 스크러버형 단일 웨이퍼 클리닝 시스템을 요구하는 목소리가 높아졌다는 뜻이다.

스크린 SPE는 이런 추세를 반영해 업계 최고의 생산성을 선사하는 스크러버형 단일 웨이퍼 클리닝 시스템 SS-3300S를 개발했다. SS-3300S는 웨이퍼 클리닝 분야에서 사실상 업계 기준으로 자리 잡으며 전 세계 출하량 500대를 넘긴 SS-3200의 처리 신뢰성을 그대로 이어받았다. 또 SS-3200용으로 개발한 처리 조건을 그대로 이용할 수 있게끔 설계했기 때문에 원활한 시스템 도입을 보장한다.

업계 최초[3] 스크러버형 시스템인 SS-3300S는 최대 16개의 챔버를 설치할 수 있는 새로운 플랫폼으로 구성했다. 새로운 이송 시스템을 도입해 시스템 면적당 생산량도 대폭 끌어올렸다. SS-3300S가 최대 1000wph(기존 모델 대비 25% 증가)에 달하는 업계 최고 수준의 실제 처리 용량을 달성할 수 있었던 배경이다. 또 SS-3300S는 스마트 팩토리로의 전환에 필요한 사물인터넷(IoT) 및 시스템간 연결에 대비해 제어 시스템을 재설계했다.

[1] 부드러운 브러시와 깨끗한 물을 이용해 웨이퍼를 물리적으로 클리닝하는 방식
[2] 동일한 플로우 레시피로 연속 동작할 때의 최대 처리량
[3] 스크린 SPE 자체 조사 기반

비즈니스 와이어(businesswire.com) 원문 보기: https://www.businesswire.com/news/home/20201208006217/en/

[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]

웹사이트: https://www.screen.co.jp/en

이 보도자료의 영어판 보기

연락처

스크린 홀딩스(SCREEN Holdings Co., Ltd.)
홍보팀
비서/홍보과
야마모토 마키(Maki Yamamoto) / 구로사키 아츠시(Atsushi Kurosaki)
+81-75-414-7131
nr-info@screen.co.jp