Advanced Pulsing 통한 Advanced Energy 10kW 전원 공급 장치, 업계서 가장 정밀하고 사용자 정의 가능한 플라즈마 제어 기능 제공
향상된 아크 관리 기능과 내장된 프로세스 특성화 기능 갖춘 Ascent® SMS AP 전원 공급장치 구성해 처리량과 수율 최적화
Ascent® SMS AP 전원 공급 장치는 까다로운 박막 증착 적용에 최적의 아크 관리 및 정확한 플라스마 제어를 제공한다
소형 10kW Ascent SMS AP는 최대 1200V의 전압과 0.5~150kHz의 주파수로 가장 폭넓은 안전 작동 영역(SOA)을 갖췄다. 완전 전압 역전이 가능한 4블록 프로그레시브 아크 관리 시스템은 업계 최고 수준의 솔루션으로서 공정에 따라 동적으로 움직이는 자체 조정 아크 매개 변수를 최저 아크 에너지로 제공한다. AP 파형은 부스트 전압, 역전압 제어 및 고급 펄스 성형을 제공해 미세 조정을 통해 필름 형태와 원하는 필름 속성을 조정할 수 있다.
Advanced Energy 플라즈마 전력 제품 마케팅 수석 이사인 Dhaval Dhayatkar는 “Advanced Energy는 단일 마그네트론 스퍼터링 적용 분야에서 전례 없는 적응력으로 펄스 DC 전원 공급장치의 성능을 계속 향상하고 있다. 고도로 구성 가능한 파형, 프로그레시브 아크 관리, 동급 최강의 SOA, 넓은 주파수 범위 및 PowerInsight 프로세스 최적화 소프트웨어를 포함한 당사의 최첨단 기술로 채운 새로운 10kW Ascent SMS AP 전력 공급장치로 고객은 고급 반도체 공정에서 가능한 최고 수준의 정밀도, 반복성 및 수율을 달성할 수 있다”고 말했다.
이 새로운 장치는 PowerInsight 공정 특성화 및 최적화 소프트웨어를 내장한 최초의 AE 전원 공급장치다. 중요 전력 공급 시스템의 데이터 수집, 분석 및 변환을 단순화해 PowerInsight는 처리량 및 수율 향상을 위해 프로세스를 최적화하고, 프로세스 장비의 계획되지 않은 가동 중지 시간을 줄이는 데 적용하는 실행 가능한 정보를 제공한다. PowerInsight를 통해 Advanced Energy의 펄스 DC 전원 공급장치는 아크를 최소화하고 증착률, 필름 형태 및 필름 속성을 향상한다.
자세한 제품 정보와 기술 사양은 홈페이지에서 확인할 수 있다.
Advanced Energy 개요
Advanced Energy(나스닥: AEIS)는 임무 수행에 필수적인 적용 및 프로세스를 위해 고도로 설계된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더다. AE의 전력 솔루션을 사용하면 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 서버 스토리지 및 건강 관리를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 적용에서 고객 혁신을 실현할 수 있다. 전 세계 엔지니어링 노하우 및 대응력 있는 서비스 및 지원을 통해 당사는 기술 발전을 충족하고 고객을 위한 성장을 촉진하고 전력의 미래를 혁신하기 위해 협력적인 파트너십을 구축한다. Advanced Energy는 전 세계 고객을 위해 30년 이상 전력을 공급해 왔으며 미국 콜로라도주 포트 콜린스에 본사를 두고 있다. 더욱 상세한 정보는 웹사이트를 찾으면 된다.
Advanced Energy 제품 정보 사양 소개 홈페이지: http://www.advancedenergy.com/products/plasma-powe...
웹사이트: http://www.advanced-energy.com
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