Advanced Energy의 새로운 Power Meter, 정밀 RF 전력 애플리케이션에서 정확도와 성능 향상
POWER SENSOR와 METER를 사용하기 쉬운 단일 기기에 통합한 새로운 RF Power Meter는 모니터링을 단순화하고 정밀한 제어 가능
Advanced Energy가 발표한 GEMINI™ 5540A Rf Power Meter
Advanced Energy는 반도체 업계의 RF 전력 솔루션 선두 업체로서 플라스마 power control, 첨단 에치 및 증착 프로세스의 성능을 개선하기 위한 새로운 기능을 지속적으로 제공하고 있다.
Sensor와 Meter를 하나로 결합되는 GEMINI 5540A는 0.2~200MHz의 주파수 범위를 가지며, ±0.5% +0.5W의 2-sigma 정확도로 3~5000W의 전력을 공급한다. 이 통합 계측기를 통해 사용자는 RF 전력의 정확한 측정 및 제어가 필요한 Application에 대해 여러 계측기를 하나의 Meter로 대체할 수 있다.
Advanced Energy의 중요 감지 및 제어 제품 부사장인 Gerry Blumenstock은 “high aspect ratio (HAR) 플라스마 에치와 같은 까다로운 반도체 공정에서, RF 시스템의 정밀 제어 및 챔버 대 챔버 매칭은 공정 성능에 직접적인 영향을 미친다. 새로운 GEMINI 5540A로 OEM은 시스템을 정확히 보정하고, RF 전력을 실시간으로 모니터링할 수 있어 최첨단 플라스마 기반 공정의 정확도와 균일성을 향상할 수 있다”고 말했다.
GEMINI 5540A는 정방향 및 역방향 전력, voltage standing wave ratio (VSWR) 및 주파수를 동시에 보여줘 판독이 수월한 대형 OLED 디지털 디스플레이를 갖고 있다. 이 제품은 정방향 및 역방향 전력 측정에 재구성할 필요 없이 주파수를 자동으로 감지한다. Meter의 calibration 주기가 기존 제품들의 6개월에서 12개월로 줄었으며, 제품은 외부 배터리 또는 AC 전원 콘센트와 기성 USB 어댑터를 사용해 표준 USB 2.0 포트를 통해 공급되는 5V, 500mA 입력으로 작동한다.
Meter는 직접 측정할 뿐만 아니라 Advanced Energy의 GEMINI Tools 데이터 시각화 소프트웨어를 사용해 데이터를 수집, 저장 및 감사하기 위해 PC에 연결할 수 있다.
자세한 제품 정보 및 기술 사양은 홈페이지에서 확인할 수 있다.
Advanced Energy 개요
Advanced Energy(나스닥: AEIS)는 임무 수행에 필수적인 적용 및 프로세스를 위해 고도로 설계된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더다. AE의 전력 솔루션을 사용하면 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 서버 스토리지 및 건강 관리를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 적용에서 고객 혁신을 실현할 수 있다. 전 세계 엔지니어링 노하우 및 대응력 있는 서비스 및 지원을 통해 당사는 기술 발전을 충족하고 고객을 위한 성장을 촉진하고 전력의 미래를 혁신하기 위해 협력적인 파트너십을 구축한다. Advanced Energy는 전 세계 고객을 위해 30년 이상 전력을 공급해 왔으며 미국 콜로라도주 포트 콜린스에 본사를 두고 있다. 더욱 상세한 정보는 홈페이지에서 확인할 수 있다.
GEMINI™ 5540A Rf 정보 안내 홈페이지: http://www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meter...
웹사이트: http://www.advanced-energy.com
연락처
Advanced Energy
Alice Hui
+852 2176 3548
이메일 보내기
이 보도자료는 Advanced Energy Industries, Inc.가(이) 작성해 뉴스와이어 서비스를 통해 배포한 뉴스입니다. 뉴스와이어는 편집 가이드라인을 준수합니다.
