서울대 공대 화학생물공학부, 산화하프늄 박막 연구로 제28회 삼성 휴먼테크논문대상 동상 수상
평면 내 투과 전자 현미경 분석 기법을 통해 산화하프늄 박막의 새로운 강유전성 발견
왼쪽부터 서울대 공대 화학생물공학부 박건우 학생, 박정원 지도교수
이번에 수상한 논문은 ‘이트륨 도핑된 산화 하프늄 박막에서 포논 커플링에 의해 유도된 새로운 강유전성’이다. 박리법을 활용해 수 나노미터 두께의 강유전성 산화 하프늄 박막의 평면 내 투과 전자 현미경 이미징에 성공했으며, 이를 바탕으로 새로운 강유전 결정 구조의 존재를 발견했다.
한편 이번 연구는 앞으로 강유전성 산화하프늄의 발생 기작 규명 및 반도체 산업에서 강유전성 박막 활용에 이바지해 에너지 효율 상승과 유연소자 기반 디바이스 제작 등에 다양하게 응용될 수 있는 성과를 인정받아 수상하게 됐다.
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