Advanced Energy, 새로운 Luxtron® FluorOptic® 감지 플랫폼으로 고정밀 온도 모니터링 포트폴리오 확장

RubiLux™ 및 VioLux™ 인광체 기술을 사용한 새로운 감지 플랫폼, 확장된 온도 범위에서 정확하고 반복 측정 가능

뉴스 제공
Advanced Energy Industries, Inc. 나스닥 AEIS
2022-07-15 09:50
덴버, 콜로라도--(Business Wire / 뉴스와이어)--첨단 기술이 적용된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더 Advanced Energy Industries, Inc.(나스닥: AEIS)는 새로운 컨버터 플랫폼과 두 가지 독점적 인광체 기술로 FluorOptic® 온도 측정(FOT) 솔루션의 Luxtron® 제품군을 확장했습니다.

RubiluxTM 및 VioLuxTM 인광체 기술이 탑재된 Luxtron M-1000 컨버터는 반도체 식각 및 증착 공정 애플리케이션에서 wide temperature range와 accuracy로 온도 측정이 가능합니다.

새로운 광원과 개선된 low noise 광검출 기능을 갖춘 Luxtron M-1000은 ±0.2°C의 낮은 accuracy, 0.05°C보다 높은 안정성, 업계에서 가장 넓은 -200~450°C의 동작 범위를 구현해 dual 채널을 제공합니다. 이 컨버터는 전체 온도 범위를 수용하기 위해 두 형광체 기술 모두 동시에 작동하도록 최적화해 있습니다.

Advanced Energy의 전략적 마케팅 및 응용 부문, 중요 감지 및 제어 담당 부사장인 Jeff Hebb는 “웨이퍼 온도는 3D NAND와 같은 반도체 장치를 만드는 데 사용되는 고급 HAR (High Aspect Ratio) 식각을 위한 중요한 공정 매개변수”라고 말한 뒤 다음과 같이 덧붙였습니다. “HAR 식각 공정을 최적화하기 위해 첨단 반도체 제조업체들은 극저온에서 고온 chuck에 이르는 더 넓은 범위의 작동 온도를 요구받고 있습니다. 광범위한 온도 범위에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 측정을 제공함으로써 M-1000 컨버터와 새로운 형광체 기술은 HAR 공정의 대량 제조에 필요한 전체 범위의 온도 측정을 가능하게 합니다.”

수십 년 동안 Advanced Energy의 Luxtron FOT 감지 기술은 높은 온도 정확도와 넓은 작동 범위로 업계를 선도해 왔습니다. Luxtron FOT 감지 시스템은 인광체 코팅 광섬유 프로브와 고급 광원, 광검출기 독점 소프트웨어 알고리즘 및 로우 노이즈 증폭 회로를 통합하는 고성능 컨버터를 결합합니다. 측정이 광학 감지에 기반해 이뤄지기 때문에 Luxtron FOT 시스템은 플라스마 식각 및 증착, MRI 시스템 및 전력 변압기를 포함해 강한 전자기장을 포함하는 공정에서 기존 전기 센서보다 더 높은 정확도를 제공합니다.

자세한 제품 정보 및 기술 규격은 당사 웹사이트(https://bit.ly/3o4vJl2)를 방문하십시오.

어드밴스드 에너지 개요

어드밴스드 에너지 인더스트리즈(Advanced Energy Industries, Inc., 나스닥: AEIS)는 미션 크리티컬 애플리케이션 및 공정을 위한 최첨단 공학 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더다. 어드밴스드 에너지의 전력 솔루션은 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 및 의료를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 애플리케이션에서 고객이 혁신을 실현할 수 있도록 한다. 어드밴스드 에너지는 공학 노하우와 전 세계 고객을 위한 대응 서비스 및 지원을 통해 기술 발전에 부응하고 고객의 성장을 촉진하며 전력의 미래를 혁신하기 위한 협력 파트너십을 구축하며, 완벽한 전력 공급을 구현하기 위해 40년간 전념해 왔다. 어드밴스드 에너지의 본사는 미국 콜로라도주 덴버에 있다.

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어드밴스드 에너지 | 정밀. 전력. 성능.

사진/멀티미디어 자료 : https://www.businesswire.com/news/home/52776455/en

웹사이트: http://www.advanced-energy.com

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