파이컴, 신개념 ‘8인치 원터치 MEMS CARD’ 개발

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2005-11-07 09:22

서울--(뉴스와이어)--반도체 및 LCD 검사관련업체 파이컴(대표 이억기 www.phicom.com)은 신개념의 차세대 반도체 검사부품인 ‘8인치 원터치 MEMS CARD’ 를 개발하여 하이닉스 반도체로부터 1차분 10매를 공급하는 등 본격적인 공급을 개시하였다고 7일 밝혔다.

8인치 원터치 MEMS CARD는, 기존 MEMS CARD(1회 64칩 검사가능)가 8인치 웨이퍼 한 장을 검사하는데 약 4회의 접촉이 필요했던데 비해, 단 한번의 접촉만으로 웨이퍼 내 모든 칩의 기능을 검사할 수 있다(1회 170칩 검사가능). 이로써 회사측은 기존대비 검사속도 및 생산성이 4배 이상 향상되어 반도체 칩메이커 업체들의 수율 향상 및 원가절감에 상당한 기여를 할 수 있을 것으로 보인다고 설명했다.

이억기 대표이사는 “8인치 원터치 MEMS CARD는 최근 2개월간 고객사에서 제품에 대한 검증과정을 마쳐 제품의 신뢰성을 인정받았다며, 현재 협상중인 국내외 신규고객을 대상으로 공급을 확대해 나갈 계획이다” 라고 밝혔다.

또 “이번 8인치 원터치 MEMS CARD는 꿈의 기술이라 불리던 ‘웨이퍼 레벨’ 의 소모성 검사부품을 세계 최초로 개발한 만큼 그 의미가 크며, 향후 300mm 웨이퍼를 한번에 테스트할 수 있는 제품도 개발하여 출하할 것” 이라고 포부를 밝혔다.

한편, 파이컴은 한번에 32개 칩을 검사할 수 있는 PROBE CARD(반도체 소모성 검사부품)를 공급해오다 지난 2004년부터 한번에 128개까지 테스트할 수 있는 MEMS CARD를 생산해 왔으며, 최근 이와 관련한 美 경쟁사와의 특허소송에서 승소한 바 있다.

* 용어설명:

PROBE CARD: 반도체 웨이퍼 상태에서 각 칩의 기능을 검사하는 소모성 검사부품으로 웨이퍼의 디자인이나 형태에 따라 주문방식으로 제작되어 공급되기에, 새로운 웨이퍼가 생산될 때마다 지속적인 교체가 이루어지는 소모성 부품이다.

MEMS CARD: 기존 프로브카드에 MEMS(Micro Elcetro Mechanical System 초소형 미세공정 시스템)기술을 적용한 반도체 웨이퍼 검사부품. 기존 제품 프로브카드가 1회에 최대 32칩의 검사가 가능했던데 비해, 128개 칩까지 일괄 검사가 가능하며, 정밀도도 훨씬 높아진 차세대 반도체 웨이퍼 검사장치이다.

현재 파이컴은 한번의 접촉으로 웨이퍼 한장을 일괄 검사할 수 있는(1회에 170개 이상 칩검사 가능) 새로운 개념의 ‘8인치 원터치 멤스카드” 를 출시하였으며, 향후 12인치(300mm)웨이퍼 한장을 한번의 접촉으로 일괄 검사할 수 있는 ‘12인치 원터치 멤스카드’ 를 출하를 목표로 하고 있다.

웹사이트: http://www.phicom.com