Advanced Energy, Angstrom Era를 위한 변형 플라즈마 전력 제어 기술 발표

eVerest™ RF Generator는 2nm 미만의 반도체 노드에 대한 차세대 펄스 및 고속 응답을 제공합니다.

뉴스 제공
Advanced Energy Industries, Inc. 나스닥 AEIS
2023-07-13 14:15
덴버, 콜로라도--(Business Wire / 뉴스와이어)--첨단 기술로 제조된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더인 Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq: AEIS)는 오늘 고객이 차세대 반도체 제조에서 처리량과 수율을 극대화할 수 있도록 지원하는 안정적이고 재연성 있는 차세대 정밀 RF 전력 공급 시스템을 출시했습니다.

Angstrom Era 식각 및 증착 공정에서 요구하는 정밀 플라즈마 제어를 제공하도록 설계된 eVerest™ RF Generator는 기존 플라즈마 전원 공급 시스템에 통합돼 이를 개선할 수 있는 고도로 구성 가능한 다중 레벨 전원 펄싱이 가능합니다. 이 플랫폼은 3~10kW의 출력 전력과 1~60MHz의 주파수를 제공하며 최대 100kHz의 넓은 고정밀 펄스 주파수를 제공합니다. 이 외에도 고속 setpoint 응답, 펄스 단계 전환 상태 간 오버슈트 제어 및 정교한 IoT 데이터 생태계 액세스를 통해 제조업체는 2nm 미만 증착 및 식각 프로파일을 위한 재연성 있는 고급 공정을 개발할 수 있습니다.

Advanced Energy의 플라즈마 전력 제품 담당 수석 부사장인 Juergen Braun은 “훨씬 더 소형화된 칩에서 향상된 성능을 제공해야 하는 반도체 업계의 사명은 이제 점점 더 복잡해지는 3D 구조와 혁신적인 공정의 치수를 원자 단위로 측정하는 Angstrom Era로 우리를 이끌고 있습니다”라고 말했습니다. “Advanced Energy는 40년 이상 반도체 공정용 플라즈마 전력 공급 및 제어 시스템의 선두에 서 왔습니다. 이러한 리더십은 공정 영역을 늘리고 안정적인 작동 범위를 넓혀 생산량과 수율을 극대화하는 혁신적인 고정밀 플라즈마 제어에 대한 Angstrom Era 장치 제조업체의 요구를 충족하는 혁신을 통해 계속 유지되고 있습니다.”

eVerest는 식각 및 증착 역학을 최적화하기 위해 즉각적 또는 사용자 전환 타이밍을 가능하게 하는 eVoS™ 바이어스 솔루션과 같은 다른 Advanced Energy 혁신적인 제품과의 지능형 동기화와 임피던스 정합 솔루션을 위한 다양한 옵션을 갖춘 완벽한 RF 전력 공급 시스템입니다. eVerest의 고속 RF 출력 응답은 200µs 미만이며 펄스 상태 상승/하강 시간은 2µs 미만으로 낮습니다. 다중 레벨 펄싱의 동적 제어는 에너지 영역 및 분산에 새로운 가능성을 열어주며, 프로그래밍 가능한 오버슈트는 안정적인 플라즈마 점화를 보장하며, 이는 펄스 오프 상태가 더 긴 공정에서 플라즈마를 안정적으로 재점화하는 기능을 제공합니다.

PowerInsight by Advanced Energy™의 IoT 데이터 생태계와 통합될 경우 eVerest 기반 솔루션을 통해 사영자는 고해상도, 고대역폭의 내장 데이터 또는 시스템 단계의 데이터에 액세스할 수 있습니다. 이 데이터는 더 빠르고 정확한 공정 특성화 및 문제 해결을 돕는 실행 가능한 인사이트를 제공합니다. 또한 오실로스코프를 설치하기 위해 플라즈마 체임버에 접근할 필요가 없으므로 가동 중지 시간이 줄어듭니다.

자세한 제품 정보 및 기술 사양을 보려면 당사 웹사이트를 방문하십시오.

Advanced Energy 소개

Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq: AEIS)는 미션 크리티컬 응용 분야 및 공정용으로 첨단 기술로 제조된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더입니다. Advanced Energy의 전력 솔루션은 반도체 장비, 산업 생산, 의료 및 생명 과학, 데이터 센터 컴퓨팅, 네트워킹 및 통신을 포함한 광범위한 산업의 복잡한 응용 분야에서 고객이 혁신을 실현할 수 있도록 합니다. Advanced Energy는 엔지니어링 노하우와 전 세계 고객에 대한 신속한 서비스 및 지원을 통해 기술 발전에 부응하고 고객의 성장을 촉진하며 전력의 미래를 혁신하기 위한 협력 파트너십을 구축하며, 40년 동안 완벽한 전력 공급을 구현하기 위해 매진해 왔습니다. Advanced Energy의 본사는 미국 콜로라도주 덴버에 자리하고 있습니다.

자세한 정보는 www.advancedenergy.com 참조.

Advanced Energy | 정밀. 전력. 성능. 신뢰.

사진/멀티미디어 자료: https://www.businesswire.com/news/home/53440865/en

웹사이트: http://www.advanced-energy.com

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