Advanced Energy, 초광폭 온도 범위의 고정확 다중 채널 감지 플랫폼 발표

초저온 및 고온 감지를 위한 업계 최고의 정확도를 자랑하는 5채널 Luxtron® FluorOptic® Thermometry(FOT) 플랫폼

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Advanced Energy Industries, Inc. 나스닥 AEIS
2023-07-13 16:35
덴버--(Business Wire / 뉴스와이어)--첨단 기술로 제조된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더인 Advanced Energy Industries, Inc.(나스닥: AEIS)는 초저온에서 초고온까지 고정확 감지를 제공하는 고도로 통합된 컨버터 플랫폼을 갖춘 Luxtron® FluorOptic® Thermometry(FOT) 제품군을 확장했다.

플라마 반도체 증착 및 식각 제조 공정에 적합한 새로운 Luxtron M-1100은 극저온 범위의 시작점인 -200°C에서 450°C의 ‘hot chuck’ 온도까지 업계 최고의 정확도(+/- 0.1°C)와 안정성(+/- 0.05°C)으로 작동한다. 5개의 채널이 통합되어 있어 단일 컨버터에서 여러 프로브를 모니터링할 수 있으며, 유연한 통신 출력으로 디지털 모니터링, 업데이트 및 시스템 통합을 간소화한다.

“반도체 제조업체가 차세대 제조 공정의 복잡한 식각 및 증착 요구 사항을 충족하고자 하기 때문에 확장된 온도 범위에 대한 정확한 모니터링은 매우 중요합니다”라고 말한 Advanced Energy의 중요 감지 및 제어 제품 담당 부사장 겸 총괄 책임자인 Dhaval Dhayatkar는 이어서 다음과 같이 말했다. “Luxtron M-1100은 고정확 인광체 기반 광섬유 온도 측정 분야에서 우리의 리더십을 더욱 확장하며, 측정 비용을 최소화하고 모니터링 및 제어 시스템과 통합하려는 고객의 요구를 충족합니다.”

인광 센서 기술이 적용된 광섬유 프로브를 활용하는 Luxtron FOT 감지 시스템은 고성능 컨버터와 고급 광원, 광검출기 고유 소프트웨어 알고리즘 및 저잡음 증폭 회로를 결합했다. Luxtron M-1100은 아날로그 및 EtherCAT 통신 인터페이스를 모두 제공하는 최초의 모델이다.

이 신형 컨버터는 모니터링되는 시스템의 측면을 벽면에 장착할 수 있도록 하여 구현을 단순화한다. 첨단 애플리케이션을 위한 맞춤형 프로브를 개발하기 위해 OEM과 협력하는 Advanced Energy의 글로벌 엔지니어링 팀의 지원으로 사용자 경험이 더욱 향상된다.

자세한 제품 정보 및 기술 사양을 보려면 당사 웹사이트를 방문하십시오.

Advanced Energy 소개

Advanced Energy Industries, Inc.(나스닥: AEIS)는 미션 크리티컬 응용 분야 및 공정용으로 첨단 기술로 제조된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더입니다. Advanced Energy의 전력 솔루션은 반도체 장비, 산업 생산, 의료 및 생명 과학, 데이터 센터 컴퓨팅, 네트워킹 및 통신을 포함한 광범위한 산업의 복잡한 응용 분야에서 고객이 혁신을 실현할 수 있도록 합니다. Advanced Energy는 엔지니어링 노하우와 전 세계 고객에 대한 신속한 서비스 및 지원을 통해 기술 발전에 부응하고 고객의 성장을 촉진하며 전력의 미래를 혁신하기 위한 협력 파트너십을 구축하며, 40년 동안 완벽한 전력 공급을 구현하기 위해 매진해 왔습니다. Advanced Energy의 본사는 미국 콜로라도주 덴버에 자리하고 있습니다.

자세한 정보는 www.advancedenergy.com 참조.

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사진/멀티미디어 자료: https://www.businesswire.com/news/home/53451092/en

웹사이트: http://www.advanced-energy.com

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