2011년 5월 30일 16:08

SPP Process Technology Systems(SPTS) and Australia's Griffith University Sign Joint Development Agreement to Develop Silicon Carbide(SiC) on Silicon Technology

SPP Process Technology Systems (SPTS), a leading manufacturer of plasma etch and deposition, and thermal processing equipment for the semiconductor and related industries, and Griffith University in Australia today announced a joint development ag...

2011년 5월 30일 16:06

SPP Process Technology Systems-호주 Griffith 대학, 실리콘 기술의 탄화규소(SiC) 공동개발협약 체결

플라즈마 에칭 및 증착, 반도체 관련 산업을 위한 열처리 장비의 선두 제조업체인 SPP Process Technology Systems (SPTS)와 호주의 Griffith 대학은 실리콘(Si) 기술에 탄화규소(SiC)의 상용화를 목표로 하는 공동개발협약(JDA)을 체결했다고 발표했다. Si 기질 상...