광주과기원 실험실 벤처, 엠포시스 신제품개발
광주과학기술원 기전공학과 실험실 벤쳐회사 엠포시스가 나노계측 분야를 선도할 수 있는 저가형 개인용 원자현미경(Personal Atomic Force Microscope) 개발에 성공, 본격적인 제품 출시에 들어갔다.
원자현미경(AFM)은 물체의 원자를 관찰할 수 있을 정도로 최고 수천만 배의 배율을 가지고 있어, 미세한 물체의 재료분석, 3차원 형상, 표면계측, 결함분석 등 다양한 분야에서 활용되는 장비이다. 또한 반도체 공정 과정에서 활용되고 있는 나노기술(NT) 분야에서도 없어서는 안 될 정도로 중요한 계측기다.
하지만 이같은 중요성에도 불구하고 원자현미경은 1억원이 넘어가는 고가장비이어서 일반 실험실 및 연구실에서는 쉽게 구입할 수 없는 장비이기도 하다. 엠포시스(주)는 이같은 점을 감안하여 나노 특성파악에 가장 많이 사용되고 있는 기능인 접촉식과 비접촉식 3차원 형상측정이 가능한 3~4천만원대의 저가형 개인용 원자현미경을 개발, 출시하게 됐다.
또 기존 광학계 대신 압전 저항(piezo resistive) 센서를 이용하여 자체 센싱 (self-sensing) 하는 방식으로 구조를 단순화시켜 기존 제품에서 측정 프로브(탐사체)를 장착, 교체하는 등의 사용 시간이 많이 걸리는 문제를 해결해 전문가가 아니면 쉽게 측정하지 못했던 단점도 개선했다.
이밖에도 정밀도와 고속제어를 함께 실현할 수 있는 구동기를 장착하여 연구실뿐만 아니라 산업현장에서도 폭넓게 사용될 수 있도록 했다. 나노 측정에 필수적인 수 나노급의 위치 분해능을 유지하는 2축 나노 스테이지도 함께 판매된다.
대표이사를 맡고 있는 박기환 교수는 “지난해 기준 원자현미경의 세계 시장 규모는 3,000억원 정도이고 관련 제품까지 포함하면 5,000억원에 달해 시장전망은 나쁘지 않다”며 “올해는 우선 내수 시장에 주력하고 내년 정도에 해외시장을 개척해 수출을 도모할 계획이다”고 말했다.
한편, 엠포시스는 광주과학기술원 기전공학과 실험실 벤쳐회사로 레이저 광 센서와 계측, 나노 계측기 분야 전문업체다. 지난 2000년 6월 설립된 이 회사는 올해 지난해보다 2배 이상 많은 10억원의 매출을 목표로 하고 있다.
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박기환 교수 062-970-2391
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2016년 9월 25일 09:33
