ST마이크로일렉트로닉스, 확장된 고도 측정 기능의 압력 센서 발표
- 초소형 실리콘 압력센서, 혁신적인 MEMS 기술을 적용하여 최고 정확도의 압력 측정 제공
ST마이크로일렉트로닉스의 MEMS, 센서 및 고성능 아날로그 사업부 총괄 본부장인 베네디토 비냐 (Benedetto Vigna)는 “ST는 MEMS 기술을 통하여 낮은 비용과 높은 정확도로 선형 또는 직각 운동, 압력, 자기장 등과 같은 물리적 파라미터들을 측정할 수 있는 신형 센서를 지속적으로 개발하고 있다.”면서 “소비자의 요구를 충족시켜주는 MEMS 센서의 응용 방법은 우리의 상상력에 의해 좌우된다.”고 말했다.
최우선시되는 타깃 애플리케이션으로는 2차원으로만 위치를 식별할 수 있는 기존의 휴대형 GPS의 기능을 강화하는 것이다. LPS001WP를 적용하면 정확한 위치를 3차원으로 식별할 수 있기 때문에, 휴대전화를 통해 빌딩 내부의 위치뿐만 아니라 층별 위치 정보까지 식별할 수 있어서 화재, 구급, 경찰 등에 응급 전화를 걸 수 있다.
LPS001WP은 -750m~+9000m의 해발고도에 대한 기압인 300-1100mb의 동작 압력 범위를 제공하며, 80cm 고도에 해당하는 최소 0.065mb 단위로 압력 변화를 감지할 수 있다. LPS001WP는 압력센서를 모노리식 실리콘 칩으로 제작할 수 있도록 하는 “VENSENS”라는 ST 독점 기술로 제조된다. VENSENS 기술을 통해 제조된 디바이스는 웨이퍼 간 본딩 작업을 제거할 수 있어서 신뢰성을 극대화할 수 있다.
LPS001WP의 압력센서는 간극 제어와 압력 규정을 통해 형성된 공기공동 (air cavity) 상의 유연한 실리콘 멤브레인 (silicon membrane)에 기반하고 있다. 이 멤브레인은 전통적인 실리콘 미세기계가공 멤브레인보다 매우 작으며, 빌트-인 기계식 스토퍼 (stopper)를 통해 파손이 방지된다. 멤브레인은 압전저항 (piezoresistor)을 내장하고 있는 데, 압전저항은 멤브레인이 외부 압력 변화에 따라 이완됨에 따라 전기적 저항이 변화하는 초소형 구조물이다. 저항의 변화가 모니터되고, 온도 보상되어 업계 표준 I2C 또는 SPI 통신 프로토콜을 통해 기기의 호스트 프로세서가 판독할 수 있는 디지털 값으로 변환된다.
LPS001WP의 주요 기술적 특징
·0.065mb의 고해상도를 제공하여 80cm 단위의 고도 변화를 감지할 수 있다.
·ST의 VENSENS 특허 기술은 최대 20배까지 높은 파열 내성을 제공한다.
·통합 온도 센서는 온도 범위 보상 기능을 지원한다.
·압력 및 온도에 대한 팹 보정 기능 덕분에, 선적된 디바이스에 대한 인-하우스 보정 작업이 필요하지 않다.
·소형 플라스틱 랜드-그리드-어레이 (HCLGA) 패키지로 제공된다. 패키지는 외부 압력이 감지 요소에 도달할 수 있도록 홀을 가지고 있다.
LPS001WP은 ST의 종합적 MEMS 센서 포트폴리오의 최신 제품으로서, 웨이퍼 가공부터 패키징 및 테스트에 이르는 ST의 완벽한 MEMS 제조 시설을 활용할 수 있는 양산 및 저비용 애플리케이션을 겨냥한다. 2010년 12월부터 공급될 예정이며, 1000개 공급물량 기준으로 개당 가격은 2.8달러이다.
ST마이크로일렉트로닉스 개요
ST마이크로일렉트로닉스는 혁신적인 반도체 솔루션을 다양한 전자 애플리케이션 분야의 고객들에게 제공하고 있는 세계적인 선도업체이다. ST는 자사의 방대한 기술, 설계 전문기술 및 IP 포트폴리오 통합, 전략적 협력업체와 강력한 제조시설 등을 활용하여 멀티미디어 컨버전스 및 전력 애플리케이션 분야에서 명실상부한 선도업체가 되는 것을 목표로 하고 있다. ST의 2010년도 매출은 103억 5,000만 달러이다. ST에 대한 보다 상세한 정보는 www.st.com를 참조하라.
웹사이트: http://www.st.com
연락처
ST마이크로일렉트로닉스
이정호 차장
02-3489-0145
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이 보도자료는 ST마이크로일렉트로닉스가(이) 작성해 뉴스와이어 서비스를 통해 배포한 뉴스입니다.
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2012년 1월 26일 13:19