기가포톤, 신기능 ‘eTGM’ 제공 개시…ArF 엑시머 레이저의 네온 가스 사용량 50% 감축 지원
- 기가포톤, 네온 가스 수급 불안 대처 위한 조치 실행…업계 지원 위해 지난 8월 출시된 신기능 ‘eTGM’ 제공
오늘날 첨단 반도체 제조에 사용되는 ArF 엑시머 레이저는 레이저 가스로 네온, 불소, 아르곤 가스를 사용하며 이 중 네온 가스는 레이저 가스 혼합물의 96% 이상을 차지한다. 이에 따라 ArF 엑시머 레이저를 가동하기 위해서는 상당량의 네온 가스가 소비된다. 하지만 최근 네온 가스 생산량이 줄고 있을 뿐만 아니라 주요 네온 가스 생산국인 우크라이나의 정치 불안과 지난 9월 오뎃사주(Odessa Oblast)에 발생한 홍수가 겹치면서 희귀 가스인 네온 가스 공급이 더욱 제한돼 네온 가격 상승(*2)으로 이어지고 있다. 이는 네온 가스의 주 사용자인 세계 반도체 업계에 심각한 위협이 될 수 있다.
기가포톤은 반도체 디바이스의 안정적 양산(HVM)을 지원하기 위해 ArF 엑시머 레이저 사용자에 대해 네온 가스 수급이 정상화되는 시점까지 네온 가스 사용량을 최대 50%까지 줄일 수 있는 eTGM 기능을 무료 제공하기로 했다. eTGM 기능은 기가포톤이 개발한 신기술로 이 회사의 에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램에 따라 네온 가스 사용량을 크게 절감할 수 있게 해준다. 이는 레이저 가동 상태를 면밀히 모니터하여 레이저 가스 주입량과 배출량을 최적화하는 기술이다. 레이저 장비에 eTGM 기능을 결합함으로써 네온 가스 사용량을 레이저 성능 저하 없이 절반까지 줄일 수 있다.
eTGM 기능은 기가포톤의 ArF 엑시머 레이저에 대한 옵션으로 제공되며 현장에서 가동중인 레이저에 적용할 수 있다. eTGM 기능 도입과 더불어 새로운 기능인 ‘그린 모니터링’도 레이저 패들을 위한 업그레이드로 제공된다. 사용자들은 이 업그레이드를 통해 생산 환경에서 레이저 가스 사용량을 실시간으로 모니터링 할 수 있다.
토마루 히토시(Hitoshi Tomaru) 기가포톤 사장/최고경영자(CEO)는 “반도체 디바이스의 안정적 양산을 지원하기 위해 메이저 레이저 공급업체로서 안정적 생산 환경을 지원할 수 있도록 eTGM 기능을 무료로 제공하기로 했다”며 “에코포톤 프로그램을 지속 추진해 반도체 산업의 친환경화에 더욱 기여할 수 있도록 노력할 계획”이라고 밝혔다.
(*1) eTGM 기능은 네온 가스 수급이 정상화될 때까지 무료로 제공된다. 무료 제공 종료 시기는 기가포톤이 정한다. 이 자료에 게재된 정보는 배포일을 기준으로 유효하며 사전 공지 없이 변경될 수 있다.
(*2) 기가포톤 조사에 근거
에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램 소개
EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여 이 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 에코포톤 프로그램은 혁신적인 그린 테크놀로지의 개발에 의해 이러한 세가지 비용의 지속적인 감소를 목표로 하고 있다.
기가포톤(Gigaphoton) 소개
2000년 창립 이래 기가포톤(Gigaphoton, www.gigaphoton.com/?lang=en)은 아시아, 미국 및 유럽 지역의 주요 반도체 칩 제조업체가 사용하는 사용자 친화적이고 고성능을 갖춘 DUV 레이저 광원을 개발하고 공급해 오고 있다.
기가포톤은 비용효과와 생산성이 뛰어난 리소그래피 광원의 대량생산에 선도적 역할을 하고 있다. 기가포톤은 글로벌 비지니스의 전망을 가지고 연구개발에서 제조까지 사업의 모든 과정에서 최종사용자의 요구에 초점을 맞추어 업계 최고의 신뢰성과 세계 수준의 고객지원으로 리소그래피 광원을 공급하는 세계최고의 기업이 되도록 노력하고 있다.
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웹사이트: http://www.gigaphoton.com/?lang=en
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