기가포톤, ‘그린 이노베이션’을 위한 새 로드맵 발표

가스 재활용 등 환경 영향 저감과 비용 절감 기술 개선을 위한 다음 단계로 나서

뉴스 제공
Gigaphoton Inc.
2016-07-06 09:00
오야마, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어)--반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)(본사: 토치기현 오야마시, 대표 이사: 토마루 히토시)(www.gigaphoton.com)가 고객을 위해, 환경에 미치는 영향을 줄이고자 ‘그린 이노베이션’의 새로운 로드맵을 발표했다. 기가포톤은 2003년부터 로드맵을 추진하며 축적한 풍부한 경험을 바탕으로 유틸리티 비용 절감 목표를 현실화 해 나갈 방침이다.

네온 및 헬륨 가스 공급이 감소하면서 해당 가스 가격이 가파르게 상승하고 있으며 전 세계적으로 에너지 사용량은 급증하고 있다. 기가포톤은 최근 몇 년간 이에 대한 세계적 우려에 대처하기 위해 진행 중인 자사의 ‘에코포톤’(EcoPhoton*) 프로그램에 발맞춰 친환경 혁신 기술을 앞장서 제공하는 이니셔티브를 추진해 왔다. 기가포톤은 2013년 헬륨가스를 질소가스로 대체해 헬륨 가스 사용량을 99% 줄이는 기술을 개발했으며[1] 2014년에는 네온 가스 사용량을 최대 50%까지 줄일 수 있는 eTGM 기술을 개발했다.[2] 이어 2015년에는 레이저 방출 효율을 20% 끌어올림으로써 레이저 성능은 그대로 유지하면서 전력 소비량을 15%까지 절감할 수 있는 eGRYCOS 기술을 선보였다.[3]

이번에 공개한 새 로드맵은 이들 제품의 개선에 박차를 가하는 데 중점을 두었다. 기가포톤은 배출 가스에서 불순물을 제거해, 실린더에서 공급되는 신선한 가스와 동등한 수준의 순도를 구현하는 네온 가스 재활용 시스템을 개발했다. 이로써 네온 가스 소비를제로 수준에 가깝게 줄일 수 있게 되었다. 헬륨가스의 경우 헬륨을 질소로 대체함으로써 광학적 특성은 훼손시키지 않으면서 더 높은 안정성을 유지하는 기술을 개발했다. 기가포톤은 2020년까지 전력 소비량을 절반으로 줄이는 기술을 개발하는 한편, 첨단 리소그래피 공정에 요구되는 레이저 출력을 향상시킨다는 목표를 달성하기 위해 매진하고 있다.

토마루 히토시 기가포톤 대표이사는 “기가포톤은 최고 우선 순위 중 하나인 그린 이노베이션을 바탕으로 이니셔티브를 실행하고 있다”며 “이는 친환경 녹색 공장을 현실화하는 동력이 되고 있으며 이 같은 노력에 많은 고객사의 호평을 얻고 있다”고 말했다. 이어 “고객사에 유용한 기술과 서비스를 계속 제공할 수 있도록 노력을 더해 갈 계획”이라고 강조했다.

[1,2,3]: 회사 종래 제품과 비교

에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램 개요

EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모 부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여, 이러한 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 에코포톤 프로그램은 혁신적인 그린 테크놀로지의 개발에 의해 이러한 세가지 비용의 지속적인 감소를 목표로 하고 있다.

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

사진/멀티미디어 갤러리: http://www.businesswire.com/cgi-bin/mmg.cgi?eid=51369919&lang=en

[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]

eTGM 관련 기존 보도자료: http://www.gigaphoton.com/en/news/2583
헬륨 프리 이니셔티브 관련 기존 보도자료 : http://www.gigaphoton.com/en/news/2557
eGRYCOS 관련 기존 보도자료: http://www.gigaphoton.com/en/news/2596

웹사이트: http://www.gigaphoton.com/?lang=en

연락처

기가포톤(Gigaphoton Inc.)
기업기획부(Corporate Planning Department)
마쓰이 아키노리(Akinori Matsui)
+81-285-37-6931
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