기가포톤, 패널 제조업체 양산라인에서 신형 KrF 엑시머 레이저에 대한 평가 개시

대형 액정패널 제조공장에서의 어닐링 공정용 광원인 신형 KrF 엑시머 레이저에 대한 평가를 개시하고 내년 여름 양산을 목표로 한다.

뉴스 제공
Gigaphoton Inc.
2016-12-07 01:00
오야마, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어)--반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시)가 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하여 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다고 발표했다.

이번에 기가포톤은 자사의 새로운 브랜드 “GIGANEX”(*) 시리즈의 일환으로써 동사가 창업 이래 축적해 온 KrF 기술을 활용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하였으며, 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다. 신형 KrF 엑시머 레이저는 600W의 고출력 사양으로, 대형 패널의 고화질화에 대한 수요가 높아지는 국내외 패널 제조업체들이 어닐링용 광원으로써 큰 기대를 걸고 있다. 기가포톤은 신형 KrF 엑시머 레이저 양산기를 2017년 여름 출하를 목표로 하고 있다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 “당사가 개발하는 신형 KrF 엑시머 레이저가 “GIGANEX” 시리즈의 라인업에 추가되었기 때문에 보다 다양한 고객의 니즈에 대응할 수 있을 것으로 기대한다”며 “’GIGANEX’ 시리즈는 앞으로도 FPD 업계를 비롯한 다양한 분야에서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다”고 말했다.


(*) “GIGANEX” 개요
기가포톤의 새로운 브랜드 ‘GIGANEX’는 지금까지 기가포톤이 반도체 리소그래피에서 축적한 높은 기술력을 활용하여 응용한 신형 엑시머 레이저의 총칭이다. ‘GIGANEX’는 FPD 제조, 플렉시블 디바이스 프로세스, 리소그래피 이외의 반도체 제조 등의 분야에서 새로운 이노베이션을 함께 창출해 내는 파트너와 같이 엑시머 레이저의 무한한 가능성을 탐색하면서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다.

《자세한 내용은 다음을 참조》
http://www.gigaphoton.com/kr/products/other/giganex-series

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 세계 반도체 메이커에 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

비즈니스 와이어(businesswire.com) 원문 보기: http://www.businesswire.com/news/home/20161206005586/en

[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]

웹사이트: http://www.gigaphoton.com/?lang=en

연락처

기가포톤(Gigaphoton Inc.)
기업기획부(Corporate Planning Department)
마쓰이 아키노리(Akinori Matsui)
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com