지올, 새로운 쇼트키 전계 방출 주사전자현미경 JSM-F100 출시
고해상도와 작동성을 결합, 새로운 차원의 분석 정보 제공하는 전계 방출 주사전자현미경
JSM-F100
배경
주사전자현미경(SEM)은 나노기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의약, 생물학 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 주사전자현미경의 적용 범위가 확대됨에 따라 이 현미경 사용자들은 원활하게 작동하면서 고품질의 데이터를 빠르게 확보하여 구성 정보를 단순하게 확인할 필요성을 느끼고 있다.
JSM-F100에는 높이 평가 받고 있는 회사의 인렌즈 쇼트키 플러스 전계방출 전자총(In-lens Schottky Plus FE electron gun)과 ‘네오 엔진(Neo Engine)’(전자광학 제어 시스템)뿐만 아니라 새로운 GUI(그래픽 사용자 인터페이스) ‘SEM 센터(SEM Center)’와 혁신적 ‘LIVE-AI(라이브 이미지 시각 증폭자-인공지능) 필터’가 통합되어 있다. 이 때문에 고공간 해상도 이미징 기능과 작동성을 가장 적합하게 결합할 수 있게 한다. 더욱이 에너지를 분산시키는 지올의 표준 X레이 분광기(EDS)는 ‘SEM 센터’ 안에 완전히 통합되어 이미지에서부터 요소 분석 결과에 이르는 것을 순조롭게 확보할 수 있다. JSM-F100은 작업 효율성이 종전의 JSM-7000 시리즈 보다 50% 이상 우수하여 처리량이 극적으로 증가된다.
특징
1. 인렌즈 쇼트키 플러스 전계방출 전자총
전자총과 저수차(收差) 컨덴서 렌즈의 통합이 강화되어 조도가 더 높아 진다. 저 가속 전압에서 전류를 풍부하게 프로브(probe)하여 고해상도 이미징에서 고속 요소 매핑에 이르는 다양한 기능을 지원한다.
2. 하이브리드 렌즈(HL)
전계형 렌즈와 자기 전계 렌즈가 결합된 하이브리드 렌즈(HL)이어서 다양한 표본의 고공간 해상도 이미징과 분석을 지원한다.
3. 네오 엔진(신 전자 광학 엔진)
첨단 전자 광학 제어 시스템인 네오 엔진은 자동 기능과 작동성의 정확도를 크게 향상시킨다.
4. ‘SEM센터’의 신 기능
새로 작동하는 GUI ‘SEM센터’는 SEM 이미징과EDS분석 기능을 완전히 통합하고 차세대 작동성과 FE(전계 방출)-SEM을 통해 확보한 고해상도 이미지를 제공한다.
5. 새로운 ‘제로맥(Zeromag)’ 기능
광학 이미징에서 SEM이미징으로 순조롭게 전환하도록 내장된 ‘제로맥’은 대상 표본 부분을 쉽게 파악할 수 있게 한다.
6. 새로운 LIVE-AI필터*
AI(인공지능) 기능을 활용한 LIVE-AI필터는 라이브 이미지의 품질을 높이기 위해 내장됐다. 이 새로운 필터는 이미지의 통합 처리와 달리 순조롭게 움직이는 라이브 이미지를 잔상 없이 표시하고, 관찰 부분을 신속하게 검출하고 초점을 맞추며 비점수차 조정기(stigmator) 조정에 매우 효과적이다.
*선택 사양
제품 사양
해상도(1 kV): 1.3nm
해상도(20 kV): 0.9nm
가속 전압: 0.01~30 kV
표준 검출기: 상위 전자 검출기(UED), 2차 전자 검출기(SED)
전자총: 인렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총
프로브 전류: 몇 개의pA ~300nA(30 kV) / 몇 개의pA ~ 100nA(5 kV)
대물 렌즈: 하이브리드 렌즈(HL)
표본 스테이지: 전체적 유센트릭 고니오미터(eucentric goniometer) 스테이지
표본 이동: X: 70mm, Y: 50mm, Z: 2~ 41mm / 기울기: -5~70°, 회전: 360°
EDS검출기: 에너지 해상도: 133 eV 이하 / 검출 가능 요소: B(보론) ~ U(우라늄) / 검출 면적: 60mm2
연간 판매 목표량: 60유닛
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Izumi Oi, President & COO
(종목 코드:6951, 도쿄증권거래소 1부)
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