기가포톤, 대만 국립 연구 기관에 KrF 엑시머 레이저 납품

IC 패키지 기술 연구용으로 가공 용도용 엑시머 레이저 ‘G300K’ 채택

뉴스 제공

2022-02-17 08:40

가

가 가 가 가

오야마, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어)--반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 가공 용도용 KrF 엑시머 레이저 ‘G300K’가 대만 국가 실험 연구원의 프로젝트에 채택돼 2021년 12월 27일 이를 국립 성공 대학에 납품했다고 2월 17일 발표했다.

대만 국가 실험 연구원(NARLabos)의 참여 기관인 국립 성공 대학에서는 국가 프로젝트로 엑시머 레이저를 사용한 IC 패키징 기술에 관한 연구를 진행하고 있다. 이번 채택은 미세 어블레이션 등 ‘가공의 최적화’를 콘셉트로 개발된 기가포톤의 KrF 레이저 ‘G300K’가 이 연구에 최적이라는 판단 아래 실현됐다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 “반도체 리소그래피 이외 분야에서 전개되는 GIGANEX 시리즈의 G300K는 기가포톤이 오랜 기간 쌓은 99% 이상의 고가동률, 고출력을 실현하고 있는 리소그래피용 광원 기술을 기반으로 개발하고 있으며, 이번 프로젝트에 공헌할 것으로 확신한다. 폭넓은 고객에게 솔루션을 제공할 수 있는 GIGANEX 시리즈가 앞으로도 새로운 애플리케이션에 적용돼 차세대 산업계 발전에 공헌할 것을 기대한다”고 말했다.

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 서포트를 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

G300K(https://www.gigaphoton.com/en/news/6272)
GIGANEX(https://www.gigaphoton.com/en/products/other/giganex-series-2)

웹사이트: http://www.gigaphoton.com/?lang=en

이 보도자료의 영어판 보기