기가포톤, SPIE 고급 리솔로지 패터닝 2023에서 기술 솔루션 공개
반도체 리소그래피 기술에 관한 최대 규모의 콘퍼런스에서 논문 발표 예정
기가포톤은 DUV 광원 기술을 통한 수율 향상 및 지속 가능성 솔루션에 대한 최신 기술을 소개한다. 또한 기가포톤은 EUV 광원에 대한 연구 개발의 진행 상황을 발표할 예정이다.
* 논문 인용을 원할 경우, 문의 요망.
구두 프레젠테이션:
1) 최첨단 침지 광원으로 EPE와 가용성을 동시에 향상 [논문 번호: 12494-44]
2) 반도체 제조용 LPP-EUV 소스의 플라즈마 역학 및 미래 [논문 번호: 12494-45]
논문:
3) LPP-EUV 광원용 핵심 부품 개발 진전 현황 [논문 번호: 12494-51]
4) 엔지니어링 유지보수 결정을 위한 기계 학습 기반 엑시머 레이저 성능 시뮬레이터 개발 [논문 번호: 12496-101]
5) 지속 가능성에 기여를 통해 ArF 침지 리소그래피용 최신 광원 GT66A로 가용성 극대화 [논문 번호: 12494-60]
기가포톤 소개
기가포톤은 2000년 설립 이후 광원 제조업체로서 전 세계 반도체 제조업체에 가치 있는 솔루션을 제공해 왔다. 기가포톤은 R&D에서 제조, 판매 및 유지 관리 서비스에 이르기까지 모든 단계에서 일상 사용자의 관점으로 세계적 수준의 지원을 제공하기 위해 최선을 다한다. 웹 페이지: https://www.gigaphoton.com/
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연락처
기가포톤
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전화: +81-285-37-6931
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