롬 앤 하스, 슬러리 소비량 30% 이상 줄여주는 그루브 설계 발표
200mm 및 300mm 텅스텐 연마 공정을 타깃으로 하는 새로운 슬러리 감축 그루브 설계는 웨이퍼의 선단 부분에 슬러리 전달을 개선하여 슬러리 소비량을 줄인다. 이 혁신적인 설계는 보다 효율적이어서, 적은 양의 슬러리가 소요되고 IC 제조업체들은 이를 통하여 비용 절감으로 이어진다.
롬 앤 하스 전자재료의 CMP 기술 아시아 태평양 지역 수석 부사장인 마리오 스탱헬리니(Mario Stanghellini)는 “텅스텐 슬러리는 CMP 공정에 소요되는 매우 고가의 재료이기에 IC 제조업체들이 이 중요한 공정 단계에 소요되는 소모품의 비용을 절감시켜 줄 새로운 대안 솔루션을 모색하고 있다”고 전하며 “CMP 공정 기본이론에 대한 깊은 이해를 토대로 우리는 텅스텐 CMP의 비용을 개선하고 고객의 필요를 직접 충족시켜 줄 수 있다”고 덧붙였다.
사업장과 고객사 설비에서의 평가에서, 본 새로운 패드는 연마율, 결함율 또는 균일성 성능을 저하하지 않고 텅스텐 CMP 연마에서 슬러리 소모량을 30% 이상 절감시켰다. 제품은 현재 베타 테스트 단계를 거치고 있으며, 관심 있는 고객사들에게 샘플이 제공되고 있다.
롬 앤 하스 전자 재료에 대하여
롬 앤 하스 전자재료는 혁신적인 재료 솔루션과 공정을 전자 업계와 광전자 업계에 제공하는 기업이다. 회로 기판, 반도체 양산, 고급 패키징, 평판 디스플레이 업계에 주력하는 이 회사의 제품과 기술은 전 세계 전자 소자에 중요한 요소이다.
CMP 기술사업부 (롬 앤 하스 CMP) 는 1969년에 설립된 이후 글로벌 반도체 업계의 연마 기술 부문에 리더십을 유지해오고 있다. 롬 앤 하스 CMP는 연마용 패드, 컨디셔너, 슬러리 등을 생산한다. 롬 앤 하스 CMP 는 뉴워크, 델라웨어, 대만 신주, 일본 미에현과 교토현 등 전 세계적으로 생산시설을 가동한다. 추가 정보는 www.rohmhaas.com에 있다.
롬 앤 하스에 대하여
1909년에 설립된 롬 앤 하스 (NYSE:ROH)는 전문 재료 업계를 위한 혁신적인 기술과 솔루션 개발을 선도하는 글로벌 선도업체이다. 이 회사의 기술은 건축/건설, 전기, 식품 및 소매업, 가정/개인용 보호제품, 제조공정, 패키징, 제지, 교통, 물과 같은 다양한 시장에서 이용된다. 혁신적인 기술과 솔루션은 전 세계 일상적인 삶의 향상에 기여하고 있다. 미국 펜실베니아주 필라델피아에 소재한 이 회사의 2007년 총 매출은 약 89억 달러에 달했다. 자세한 정보는 www.rohmhaas.com 에 있다.
롬엔드하스(Rohm and Haas) 개요
1909년에 설립된 롬엔드하스는 특수 소재 산업을 위한 혁신적인 기술과 솔루션을 개척 및 개발하는 글로벌 선구 기업이다. 롬엔드하스의 기술은 건축 및 건설, 전자, 생활용품 및 개인용품, 패키징 및 제지, 운송, 의약품, 수자원, 식품, 산업프로세스 등 광범위한 시장에 기반을 두고 있다. 롬엔드하스의 혁신적인 기술 및 솔루션은 전세계에서 보다 나은 일상을 실현하는데 사용되고 있다. 미국 펜실베니아주 필라델피아에 본사를 둔 롬엔드하스는 2007년에 약 89억 달러에 이르는 연 매출을 기록했다. 보다 자세한 정보는 www.rohmhaas.com 에서 확인할 수 있다.
웹사이트: http://www.rohmhaas.com
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2008년 4월 8일 09:59