2011년 7월 8일 10:24

Novellus Ships 100th VECTOR Extreme System

Novellus Systems(NASDAQ: NVLS) today announced that it has shipped the company's 100th VECTOR® Extreme™ plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system used for depositing thin dielectric films. Already deployed at all of the major memory...

2011년 7월 1일 10:02

Novellus Ships VECTOR(R) LED System to China SemiLEDs

Novellus Systems(NASDAQ: NVLS) announced that it has shipped a VECTOR® plasma-enhanced chemical vapor deposition(PECVD) system to Xurui Guangdian Co., Ltd.(“China SemiLEDs”), a joint venture company in the People‘s Republic of China in which SemiL...

2011년 1월 28일 10:33

노벨러스, 업계에서 가장 빠른 PECVD 시스템, VECTOR EXTREME TEOS xT 출시

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 자사의 신제품 VECTOR® Extreme TEOS xT TM를 전 세계의 주요 반도체 기업으로부터 수주 출하했다고 밝혔다. 노벨러스의 우수한 VECTOR Extreme 플랫폼에 기반을 두고 있는VECTOR Extreme TEOS xT시스템은 시간당 300개 이상의 웨이...

2010년 8월 25일 09:48

노벨러스, 32nm이하 전공정(FEOL)과 더블 패터닝 공정을 위한 균일막 증착 기술 선보여

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 4:1 이상의 종횡비 구조에서 100% 스텝 커버리지 절연막 증착을 위한 균일막 증착 기술(Conformal Film Deposition: CFDTM)을 개발 했다고 발표했다. 이 혁신적인 CFD기술은 게이트 라이너와 간극막, STI (Shallow Trench Isolation...

2010년 8월 9일 09:27

노벨러스, 선진 웨이퍼 래벨 패키지 시장을 위한 새 장비 조합 발표

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 시장의 새로운 요구사항에 대응할 수 있는 해결책을 마련하고자 VECTOR PECVD, INOVA PVD, 및 감광액(Photoresist) 제거 장비인 GxT의 새로운 모델을 출시했다. 이 새로운 모델들은 노벨러스의 선진 배선 ...

2010년 8월 2일 09:49

노벨러스, 선진 웨이퍼 레벨 패키지 시장을 위한 전기도금 시스템 SABRE® 3D 발표

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 빠르게 성장하고 있는 선진 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 시장을 위한 전기도금 시스템인 SABRE 3D를 개발했다고 발표했다. SABRE 3D의 유연한 모듈형 아키텍처는 업계를 주도하고 있는 노벨러스의 SABRE Electrofill® 구리 상감 기술을...

2010년 5월 18일 09:26

노벨러스, 혁신적인 DIRECTFILL CVD 텅스텐 나이트라이드(WN) 선형 방지막 개발

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 진보된 메모리 소자에서 텅스텐 비아와 구리배선 연결에 쓰이는 기존 물리 기화 증착(PVD)방식의 Ti 선형막과 금속-유기 화학 기화 증착 방식(MOCVD)의 TiN 방지막을 대체할 혁신적인 DirectFill CVD 텅스텐 나이트라이드(WN) 선형 ...

2010년 5월 12일 09:51

노벨러스, 32nm이하 노광 공정서 임계 선폭 조절 가능한 초정밀 반사 방지막 개발

노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 웨이퍼 간 두께 편차가 2A(angstroms) 이내인 초 정밀 반사 방지막(Anti-Reflective Layer)을 플라즈마 화학 증착 장비 (PECVD)인 노벨러스 VECTORTM 플랫폼에서 개발했다고 발표했다. VECTORTM 의 다층 순차 증착 방식(Multi-Stati...

2010년 4월 21일 10:16

피터 울터스, 혁신적인 실리콘 웨이퍼 그라인딩 기술로 5배 더 평탄한 웨이퍼 생산

고정밀 기계장치 제공업체로 선도적 기업이며 노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)의 자회사인 피터 울터스(Peter Wolters GmbH)는 안정된 AC2000 플랫폼의 양면 공정 아키텍처(double-sided processing architecture)를 바탕으로 하는 혁신적인 PPG™ (Planetary Pad Grin...

2010년 3월 31일 10:18

노벨러스, 3-D 반도체 조립을 위한 구리 TSV 공동개발 프로그램 발표

노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 자사의 SABRE® 구리 전기도금과 VECTOR® PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition)시스템을 사용해 제조할 가치가 있는 구리에 기반을 둔 3-D TSV(Through Silicon Via, 관통전극)를 설계하기 위해 IBM과 공동개발 프로그...

2010년 3월 23일 09:55

노벨러스, TSV 조립을 위한 혁신적인 구리 전도 기술 개발

노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 신흥TSV (Through-Silicon-Via) 조립 시장을 겨냥한 진보한 새로운 구리 절연/전도(cooper barrier-seed, CBS) 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition, PVD) 공정을 발표했다. 새롭게 발표한 구리 절연/전도 PVD 공정은 특허...

2010년 3월 4일 10:28

노벨러스, IBM 및 알바니 CNSE와 전략적 제휴

노벨러스 시스템 (나스닥: NVLS), IBM (뉴욕증권거래소: IBM) 과 CNSE(College of Nanoscale Science and Engineering)는 CNSE 알바니 나노테크 연구단지에서 22 나노와 그 이하 나노 전자공학 기술을 위한 반도체 공정 개발을 목표로 전략적 제휴를 맺었다고 발표했...

2010년 2월 18일 10:27

노벨러스, 1000번째 VECTOR PECVD 설비 출하

노벨러스 시스템 (나스닥- NVLS)은 싱가포르에 위치한 글로벌파운드리즈(GLOBALFOUNDRIES)의 공장 Fab7에 1000번째 VECTOR 플라즈마화학증착(PECVD) 시스템을 입고했다고 발표했다. 첨단 반도체 제조 기술의 선도적인 공급업체인 글로벌파운드리즈는 최근 차터드 세...

2010년 1월 26일 10:34

노벨러스, 45나노 이하 세대 대량생산을 위한 자외선 열공정 장치 ‘SOLA® xT’ 설비 출시

노벨러스 시스템 (니스닥- NVLS)은 차세대 자외선 열공정 장치인 SOLA® xT 설비를 발표했다. SOLA® xT는 45nm이하의 발전된 로직 디바이스의 제조 과정에서 사용되며, 자외선과 열에 노출시킴으로써 미리 증착된 막의 물리적 특성을 변경시키는 자사의 자외선 열공정...

2009년 12월 9일 10:47

노벨러스, 32나노 이하 리소그래픽 패터닝이 가능한 Ashable hardmask(AHM) PECVD 필름 개발

노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 현재 업계에서 사용되고 있는 일반적인 비결정질 탄소박막에 비하여 약 25% 이상 식각비가 우수한 Ashable hardmask(AHM)을 개발했다. 높은 선택비과 투명성을 띈(high selective and transparent, HST) AHM 필름군은 노벨러스가 특...

2009년 11월 17일 10:24

노벨러스, 진보된 LRWxT 공정으로 텅스텐 저항 성능 개선

노벨러스 시스템 (Nasdaq: NVLS)은 기존 텅스텐 화학증기증착법 (CVD-W)기술과 비교하여 30나노 기술노드에서 컨택(contact) 및 라인(line)의 저항을 효과적으로 낮추는 LRWxT라는 명칭의 새로운 텅스텐(W) 증착 공정을 개발했음을 발표했다. 이 새로운 공정은 매우 ...

2009년 11월 4일 10:16

노벨러스, 22나노 구리 전기도금용 SABRE® EXCEL™ 출시

노벨러스(NASDAQ: NVLS)는22나노 및 이후 세대 기술 노드 에서 업계 최고의 fill과 결함 빈도 성능을 제공할 수 있는 발전된 구리 전기도금 설비인 SABRE Excel를 발표했다. SABRE Excel은 이미 전세계적으로 80% 이상의 구리배선 소자 생산에 사용되고 있는 검증된S...

2009년 10월 28일 10:50

노벨러스 SPEED MAX 고밀도 화학증착법 유전체 Gapfill 장비로 32나노 STI공정 가능

노벨러스 시스템(나스닥:NVLS)은 자사의 SPEED Max 쉘로우 트렌치 분리 (shallow trench isolation, STI)어플리케이션을 32나노 기술 노드에서도 사용할 수 있도록 제조 공정을 개발했다고 발표했다. 개발된 새로운 공정 기술은 SPEED Max 고밀도 플리즈마 화학증착...

2009년 10월 21일 11:36

노벨러스, 삼성전자로부터 ‘BEST IN VALUE’ 공급업체 상을 수상 받아

노벨러스 시스템 (나스닥: NVLS)는 오늘 2009년 9월16일 캘리포니아, 산타클라라에서 열린 삼성전자의 공급업체 감사의 날 (Supplier Appreciation Day)에서 “Best in Value” 공급업체상을 수상했다고 발표했다. “Best in Value” 상의 의미는 삼성전자가 공급업체에...

2009년 10월 7일 11:18

노벨러스 시스템, 다중 파장의 자외선 열처리 기술 개발

노벨러스 시스템(NASDAQ:NVLS)은 다중 파장의 자외선 열처리 기술(UVTP: UV Thermal Processing)을 개발했다고 발표했다. 이번 처리기술은 노벨러스의 SOLA® 플랫폼에서 구현되어 박막 강도가 동일 k값을 갖는 유전막에 대한 단파장처리기법에 비해 25% 향상된다. 32...